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PVD工藝?yán)顳LC涂層是一種什么樣碳薄膜

作者:admin 來(lái)源: 發(fā)表日期:2020/3/30 22:54:45 瀏覽量:182

DLC是英文“DIAMOND-LIKE  CARBON”一詞的縮寫(xiě)。DLC是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類(lèi)似,同時(shí)又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的物質(zhì)。類(lèi)金剛石薄膜(DLC)是一種非晶態(tài)薄膜,由于具有高硬度和高彈性模量,低摩擦因數(shù),耐磨損一級(jí)良好的真空摩擦學(xué)特性,很適合作為耐磨涂層,從而引起了使用上的關(guān)注和重視。

目前,制備DLC薄膜的方法有很多,不同的制備方法所用的碳源以及到達(dá)基體表面的離子能量不同,沉積的DLC膜層結(jié)構(gòu)和性能也不同,存在著很大差別,摩擦學(xué)性能也不相同。

DLC碳膜的穩(wěn)定性,耐磨性和低摩擦性能,使其在各領(lǐng)域使用比較廣泛,越來(lái)越多的行業(yè)都在使用DLC膜,用于零件、光學(xué)、精密零件、高科技領(lǐng)域的耐磨超硬材料表面上。

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