在所有情況下，涂層增加了零件的厚度（等同于涂層厚度），鑒于材料性能，加工溫度決定零件形狀是否受到影響。cvd涂層加工溫度一般在800℃~1000℃。特定材料在cvd涂層后將需要重新熱處理。pvd涂層的加工溫度一般在250℃~600℃，大多數(shù)零件能保證原由的尺寸公差。在有些情況下，pvd涂層在溫度低于70℃的情況下，沉積避免損壞有塑料制成的零件。pacvd過程在溫度低于700℃情況下進行，因此尺寸精度和性能一般不會受影響。