PVD是Physieal Vaper Depeitien(物理氣和沉積工藝)的縮寫是指在真空條件下。采用低電壓,大電流的批電技術(shù),藥周氣體旗電使靶村蒸發(fā)丹發(fā)被蒸發(fā)物精與氣體都發(fā)生電離。利用電場(chǎng)的加造作同。是被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)物沉積在工件表面上。
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什么是PVD技術(shù)
作者:admin 來(lái)源: 發(fā)表日期:2020/3/30 22:46:57 瀏覽量:27
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